번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85997
22 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 72
21 ESC DC 전극 Damping 저항 242
20 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1023
19 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1156
18 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1289
17 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1661
16 Si Wafer Broken [2] 2026
15 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2340
14 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2523
13 ESC Cooling gas 관련 [1] 3136
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3941
11 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4855
10 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6280
9 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7275
8 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7512
7 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 13446
6 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16648
5 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19709
4 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21950
3 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22769

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