Etch Dry Etcher 에 대한 교재

2009.08.07 17:14

김기권 조회 수:22540 추천:272

저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는  ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.  

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76731
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
67 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 63
66 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 180
65 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 216
64 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 234
63 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 273
62 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 291
61 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 316
60 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 354
59 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 366
58 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 387
57 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 394
56 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 471
55 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 486
54 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 545
53 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 604
52 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 615
51 Polymer Temp Etch [1] 662
50 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 669
49 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 750
48 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 843
쓰기
태그

Boards

XE Login