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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75761
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19446
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56668
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68016
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90276
737 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 214
736 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 230
735 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 234
734 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 235
733 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 242
732 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 250
731 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 251
730 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 252
729 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 257
728 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 257
727 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 258
726 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 258
725 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 261
724 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 271
723 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 272
722 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 278
721 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 281
720 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 283
719 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 287
718 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 296

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