ATM Plasma 상압 플라즈마 관련 문의입니다.

2008.10.10 16:12

김형석 조회 수:21515 추천:282

안녕하세요..

상압 플라즈마 관련 업체에서 근무중인 김형석이라고 합니다.

다름이 아니라, 저희가 RF 플라즈마를 이용한 세정 장비를 개발 중에 있습니다.

모듈을 방전시 외부에 온도 라벨을 붙여 테스트 한결과, 약 7분 정도 지났을때, 접지 전극 온도가 약70도 정도 였습니다.

그러나, 그 순간 접지 전극이 휘는 현상이 발생하였습니다.

접지 전극을 새것으로 바꾸어도 마찬기지 현상이 발생합니다.

제 생각으로는 플라즈마가 불균일 하여, 생긴 현상이라 생각됩니다.

이에 대한 좋은 가르침 주시면 감사하겠습니다.

저희 장비는 리모트 타입으로써, 상부 전극은 Ag Paste에 절연체로는 세라믹을 사용중이며,
하부 전극은 알루미늄 아노다이징(60um)를 사용 중입니다.
전원은 RF를 사용 중입니다.

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