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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source]
[1]  | 808 |
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692 |
자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy]
[1] | 813 |
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691 |
ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
[1] | 817 |
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690 |
Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground]
[1] | 820 |
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689 |
plasma striation 관련 문의 [Plasma striation]
[1] | 821 |
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688 |
챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction]
[1] | 824 |
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687 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
[1] | 824 |
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686 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring]
[1] | 838 |
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685 |
플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE]
[1] | 843 |
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684 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability]
[1] | 847 |
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683 |
파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
[2] | 852 |
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682 |
프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
[1] | 853 |
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681 |
standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해]
[1] | 856 |
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680 |
ICP 후 변색 질문
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정]
[1] | 866 |
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678 |
CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision]
[1] | 867 |
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677 |
RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
[1] | 875 |
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676 |
Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
[1] | 884 |
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675 |
기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging]
[1] | 897 |
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674 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)]
[1] | 901 |
