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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72692
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104017
693 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 808
692 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 813
691 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 817
690 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 820
689 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 821
688 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 824
687 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 824
686 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 838
685 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 843
684 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 847
683 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 852
682 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 853
681 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 856
680 ICP 후 변색 질문 860
679 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 866
678 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 867
677 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 875
676 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 884
675 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 897
674 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 901

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