번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19470
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56676
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68065
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90360
618 RF 파워서플라이 매칭 문제 729
617 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 731
616 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 734
615 Collisional mean free path 문의... [1] 741
614 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 745
613 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 752
612 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 753
611 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 766
610 플라즈마 충격파 질문 [1] 767
609 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 769
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 779
607 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 784
606 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 785
605 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 785
604 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 787
603 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 793
602 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 796
601 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 797
600 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 800
599 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 805
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