Plasma in general RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher]

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:1224

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 

 

1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?

 

바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

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