Sheath Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher]

2017.08.03 10:57

세종 조회 수:9579

안녕하세요. 

저희 장비에서 RF는 상부와 하부로 나뉘어져 있고 하부 쪽에서 Vpp가 측정됩니다. 보통 이것과 Ion energy를 비례하게 해석하던데, 어떻게 연결 지어야 하는지 궁금합니다.

장비 설명에서 Vpp는 RF Matcher의 Position으로부터 도출되는 것이라고 설명되있었습니다.

즉 하부에서 RF reflect가 존재해야 Vpp가 계산된다는 것인데, 이것으로 어떻게 Ion Energy를 예상하는지...

일반적으로 입사되는 Ion이나 전자의 전하 움직임을 Reflect로 해석하는 것인가요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
180 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙] [1] 13466
179 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스] [1] 12894
178 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. [디바이 차폐와 이온화된 가스] 12416
177 플라즈마 살균 방식 [Plasma medicine] [2] 11611
176 DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"] [3] 11479
175 플라즈마 PIC 질문드립니다. [PIC simulation] [1] 10440
» Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9579
173 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9355
172 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9150
171 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9091
170 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 8989
169 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 8943
168 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8621
167 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8578
166 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8161
165 MFP에 대해서.. [Collisional cross section] [1] 7883
164 플라즈마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [Plasma 이온화] [1] 6566
163 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 6551
162 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [Chemical reaction과 pressure] [1] 6533
161 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6511
쓰기
태그

Boards

XE Login