번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77242
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68904
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
31 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 32064
30 플라즈마가 불안정한대요.. 24531
29 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24391
28 No. of antenna coil turns for ICP 23135
27 플라즈마의 발생과 ICP 22169
26 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21787
25 ccp-icp 21576
24 F/S (Faraday Shield) file 21545
23 ICP TORCH의 냉각방법 15923
22 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3868
21 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
20 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2406
19 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2406
18 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2370
17 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2003
16 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916
15 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1691
14 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1681
13 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1651
12 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1538

Boards


XE Login