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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66727
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110 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47064
109 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40712
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100 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25582
99 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25484
98 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24644
97 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24608
96 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24577
95 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24213
94 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23179
93 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22808
92 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22482
91 Peak RF Voltage의 의미 22343

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