Matcher Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]

2017.06.30 04:39

메탈 조회 수:1747

안녕하세요. 전에도 몇번 질문드렸었습니다만,, 반도체 관련회사에서 근무하고 있습니다.

RF (ICP)장비를 다루고 있는데 impedence 위상관련해서 문의 좀 드리려고 합니다.

 

impedence 매칭은 저항과 위상으로 조정하데..

공정 parameter (Ar pressure , AC power 등)의 변화로 위상이 변화할수 있을까요?

변화된다면 어떤 이유로 변화되는지 조금 자세하게 설명을 듣고 싶습니다..

 

그리고 정말 죄송한데 smith chart program 을 사용하고 싶은데..도움 받을 site가 있을까요?

검색해서 찾아봐도 알수 없는 site로 이동이 되서...찾기가 어렵습니다만..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103378
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61543
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73525
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105967
24 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2941
23 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간] [2] 2886
22 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2851
21 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2818
20 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2303
19 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2162
18 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2095
17 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1757
» Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1747
15 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1675
14 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1671
13 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1627
12 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1460
11 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1410
10 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1377
9 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1187
8 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1102
7 RF 파워서플라이 매칭 문제 1022
6 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 724
5 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 683
쓰기
태그

Boards

XE Login