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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75263
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24 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31739
23 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 25224
22 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22142
21 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21238
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17 sputtering 18498
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15 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 18222
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12 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16171
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10 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10810
9 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 4277
8 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2799
7 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1909
6 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1848
5 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1190

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