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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
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757 플라즈마 온도 27806
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755 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27648
754 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27217
753 이온과 라디칼의 농도 file 27018
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747 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25586
746 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24988
745 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24892
744 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24884
743 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24777
742 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24761
741 plasma와 arc의 차이는? 24743
740 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24667
739 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24612
738 플라즈마가 불안정한대요.. 24523

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