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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24498
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61150
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73192
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105372
113 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 723
112 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 719
111 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 719
110 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 711
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 711
108 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 710
107 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 709
106 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 705
105 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 703
104 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 702
103 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 694
102 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 690
101 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 687
100 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 680
99 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 677
98 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 674
97 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 674
96 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 673
95 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 663
94 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 661
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