번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76971
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20329
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68798
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92791
741 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24373
740 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24370
739 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24193
738 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24126
737 self Bias voltage 24098
736 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23993
735 플라즈마 쉬스 23966
734 Arcing 23860
733 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23781
732 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23461
731 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23420
730 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23347
729 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23275
728 DC glow discharge 23267
727 고온플라즈마와 저온플라즈마 23153
726 No. of antenna coil turns for ICP 23121
725 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23105
724 CCP/ICP , E/H mode 23068
723 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22952
722 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22858

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