Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76881 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20276 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68754 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92707 |
678 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 556 |
677 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 632 |
676 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 557 |
675 | RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] | 1187 |
674 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 1219 |
673 | Plasma Arching [1] | 1074 |
672 | Polymer Temp Etch [1] | 677 |
671 | CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] | 1018 |
670 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 491 |
669 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1417 |
668 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1289 |
667 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 454 |
666 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 814 |
665 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 894 |
664 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 832 |
663 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5099 |
662 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1259 |
661 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 698 |
660 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 612 |
659 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1473 |