번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77713
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57637
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93382
167 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 35
166 micro arc에 대해 질문드립니다. [1] 72
165 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 56
164 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] 135
163 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] 75
162 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 182
161 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 158
160 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 77
159 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 153
158 skin depth에 대한 이해 [1] 263
157 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 183
156 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 160
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 330
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 252
153 ICP에서 전자의 가속 [1] 218
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 268
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 336
150 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 113
149 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 370
148 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 438

Boards


XE Login