번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78011
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20832
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69248
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93623
128 인가전압과 ESC의 관계 질문 [1] new 7
127 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 175
126 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 138
125 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 175
124 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 178
123 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 90
122 플라즈마 설비에 대한 질문 139
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 534
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 103
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 674
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 507
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 904
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 443
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 591
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 402
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 401
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 401
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 976
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 807

Boards


XE Login