안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75424
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19160
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67555
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89363
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 87
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 148
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 134
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 162
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 134
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 213
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 320
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 457
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 456
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 494
106 Plasma Arching [1] 852
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 752
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 730
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 691
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 893
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1254
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2211
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1054
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1281
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1591

Boards


XE Login