Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹

2023.08.22 11:19

생렬 조회 수:268

안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75750
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19438
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56662
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67994
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90216
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 64
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 352
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 268
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 248
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 242
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 208
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 270
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 492
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 542
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 493
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 529
106 Plasma Arching [1] 911
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 874
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 774
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 726
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 927
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1335
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2413
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1121
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1332

Boards


XE Login