번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75787
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56676
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68065
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90360
57 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2767
56 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2686
55 임피던스 매칭회로 [1] file 2676
54 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2466
53 RF matcher와 particle 관계 [2] 2428
52 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2364
51 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2344
50 Si Wafer Broken [2] 2342
49 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2173
48 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2168
47 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2162
46 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2108
45 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2102
44 chamber impedance [1] 1946
43 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1900
42 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1838
41 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1806
40 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1739
39 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1601
38 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1581
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