번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75748
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19431
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56659
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67984
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90191
174 플라즈마내에서의 아킹 43616
173 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34818
172 PEALD관련 질문 [1] 32162
171 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31436
170 DC Bias Vs Self bias [5] 31316
169 RF에 대하여... 30616
168 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29759
167 PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 29566
166 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 29009
165 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 27842
164 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24731
163 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24549
162 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24046
161 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23605
160 Arcing 23579
159 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22611
158 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22480
157 플라즈마 코팅에 관하여 22039
156 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21875
155 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] 21456

Boards


XE Login