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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71077
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98201
24 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 212
23 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 237
22 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 347
21 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 421
20 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 845
19 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1613
18 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1644
17 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2557
16 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 4051
15 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10532
14 Sputter 15973
13 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 15985
12 몇가지 질문있습니다 16633
11 sputter 16928
10 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 17992
9 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18139
8 sputtering 18379
7 물리적인 sputterting 18438
6 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19770
5 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20459

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