Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias]

2009.10.16 04:52

정용현 조회 수:22017 추천:145

플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?

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