ESC ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절]

2021.09.14 15:33

윤정훈 조회 수:2397

진공상태에서 ESC 표면의 온도가 모두 같지는 않기 때문에 Inner랑 outer에서 조금의 온도 차이가 있을 텐데

 

이러한 온도 차이 때문에 wafer에서의 식각률의 차이가 어떤 이유로 있는건지 알 수 있을까요??

온도별로 영역별 식각정도가 다를 경우가 있는데 어떤 이유가 있을지 궁금해서요

 

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