Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]

2022.11.23 13:36

미생 조회 수:1410

안녕하세요 

현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다. 

 

다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.

 

책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.

혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다

 

감사합니다!

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