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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67973
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571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 705
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 534
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568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1312
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1071
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5293
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564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1593
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2153
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2457
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 521
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3232
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16541
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