Sputtering UBM 스퍼터링 장비로...

2010.06.01 23:11

이재덕 조회 수:20909 추천:132

안녕 하십니까. UBM장비로 SUS 시편 두께에 따라 박막 두께도 달라지는지.. 달라지면 어떻게 달라지는지 Ti로 코팅하고 있는데 챔버를 열었을시 상온 과 챔버내 온도 차로 인하여 생기는 문제점들과 BIAS-DC ARC 장비로 챔버내에 하드 아킹이 일어나는 원인이 어떤것들이 있는지 알고 싶습니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76827
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20250
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68740
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92580
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20312
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31677
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24336
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23338
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22945
230 대기압 플라즈마 40710
229 반도체 관련 질문입니다. 28579
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47864
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20205
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16040
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19424
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30036
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17194
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34963
221 질문 있습니다. [1] 18368
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22620
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25585
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 20578
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20262
» UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20909
쓰기
태그

Boards

XE Login