Others ECR plasma 장비관련 질문입니다.

2010.10.18 17:35

최선진 조회 수:34963 추천:78

안녕하세요, 저는 한국과학기술원 석사과정에 재학중인 최선진입니다.
홈페이지에서 plama를 이용한 흥미로운 연구를 하고 있는것 잘 살펴 보았습니다.

다름이 아니라 장비에 관하여 궁금한 점이 있어서, 메일로 질문을 드릴려다가 이곳에 남깁니다.
ECR(electron cyclotron resonance) plama에 관한 것인데요, 혹시 이장비를 이용하여 oxidation을 할 수 있을까요?
특히, 금속 물질을 oxidation하기 위함입니다.

답변부탁드립니다.
점점 차가워지는 날씨에 감기조심하십시오.
감사합니다.

최선진 올림.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76821
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20250
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57191
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92578
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20312
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31677
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24335
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23337
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22945
230 대기압 플라즈마 40710
229 반도체 관련 질문입니다. 28579
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47863
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20205
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16040
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19422
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30035
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17193
» ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34963
221 질문 있습니다. [1] 18368
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22620
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25585
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 20578
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20262
216 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20909

Boards


XE Login