번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76380
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91226
750 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 222
749 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 232
748 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 243
747 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 246
746 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 259
745 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 266
744 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 269
743 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 277
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 280
741 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 280
740 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 281
739 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 295
738 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 308
737 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 310
736 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 310
735 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 315
734 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 326
733 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 328
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 330
731 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 330

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