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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68898
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766 플라즈마 온도 27843
765 DBD란 27775
764 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27668
763 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27235
762 이온과 라디칼의 농도 file 27053
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756 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25595
755 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24996
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753 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24905
752 plasma와 arc의 차이는? 24845
751 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24788
750 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24787
749 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24703
748 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24649
747 플라즈마가 불안정한대요.. 24531

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