번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76918
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20305
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57223
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68772
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92748
740 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24369
739 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24367
738 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24190
737 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24123
736 self Bias voltage 24094
735 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23991
734 플라즈마 쉬스 23960
733 Arcing 23854
732 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23781
731 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23459
730 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23415
729 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23346
728 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23273
727 DC glow discharge 23267
726 고온플라즈마와 저온플라즈마 23150
725 No. of antenna coil turns for ICP 23117
724 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23101
723 CCP/ICP , E/H mode 23058
722 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22951
721 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22858

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