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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67545
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40 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47314
39 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 35404
38 matching box에 관한 질문 [1] 29530
37 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27420
36 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23216
35 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22515
34 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21094
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32 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 19120
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30 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9568
29 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 9120
28 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 7510
27 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6853
26 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6068
25 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5632
24 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4821
23 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3339
22 임피던스 매칭회로 [1] file 2578
21 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2309

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