Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1768

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76859
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20264
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92631
48 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2884
47 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2793
46 PR wafer seasoning [1] 2705
45 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2652
44 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2480
43 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2348
42 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2340
41 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2289
40 etching에 관한 질문입니다. [1] 2272
39 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2068
38 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2065
37 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2007
36 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1978
35 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1807
» 터보펌프 에러관련 [1] 1768
33 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1422
32 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1386
31 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1367
30 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1250
29 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1191

Boards


XE Login