번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67545 |
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4 | M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] | 3003 |
3 | Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] | 982 |
2 | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 774 |
1 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 624 |