번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [324] 89001
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22990
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59674
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71482
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 99625
89 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 551
88 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 545
87 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 539
86 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 533
85 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 530
84 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 527
83 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 525
82 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 523
81 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 510
80 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 501
79 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 500
78 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 494
77 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 488
76 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 485
75 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 483
74 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 476
73 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 470
72 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 470
71 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 468
70 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 466
쓰기
태그

Boards

XE Login