번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19470
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56677
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68065
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90360
698 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24187
697 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24104
696 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24054
695 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 23967
694 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23885
693 플라즈마 쉬스 23821
692 self Bias voltage 23815
691 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23612
690 Arcing 23585
689 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23349
688 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23248
687 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23214
686 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23191
685 DC glow discharge 23144
684 고온플라즈마와 저온플라즈마 23017
683 No. of antenna coil turns for ICP 23002
682 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22935
681 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22877
680 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22791
679 CCP/ICP , E/H mode 22712

Boards


XE Login