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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67984
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174 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 67
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170 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 178
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 194
168 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 231
167 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 127
166 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 254
165 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 277
164 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 129
163 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 180
162 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 558
161 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 863
160 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 159
159 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 279
158 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 306
157 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 465
156 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 728
155 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 275

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