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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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고온 플라즈마 관련
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플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
[1] | 8050 |
121 |
플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다.
[1] | 7704 |
120 |
안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다.
[1] | 6655 |
119 |
안녕하세요, 질문드립니다.
[2] | 6570 |
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플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 6497 |
117 |
O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154
[1] | 6430 |
116 |
RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이
[4] | 6268 |
115 |
모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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114 |
SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유
[1] | 5896 |
113 |
DRAM과 NAND에칭 공정의 차이
[1] | 5469 |
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SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다.
[1] | 5319 |
111 |
Dry Etching Uniformity 개선 방법
[2] | 4292 |
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플라즈마 색 관찰
[1] | 4286 |
109 |
SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문
[1] | 4164 |
108 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3970 |
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HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3945 |
106 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3834 |
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ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3658 |
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Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3548 |