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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다.
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Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화]
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해]
[1] | 262 |
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gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]
[1] | 444 |
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RF Sputtering Target Issue [Sputtering]
[2]  | 912 |
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]
[1] | 1679 |
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sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux]
[1] | 2593 |
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Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과]
[1] | 1672 |
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DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering]
[2] | 4079 |
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미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사]
[1] | 10576 |
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Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction]
[1] | 16006 |
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[Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching]
[1] | 31496 |
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Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다.
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UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating]
[1] | 21112 |
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몇가지 질문있습니다
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스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
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DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위]
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sputter
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Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker]
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5 |
스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple]
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