Others 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제
2012.11.09 20:21
30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...
플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.
이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92290 |
269 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
268 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
» | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
266 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8981 |
265 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
264 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6492 |
263 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54900 |
262 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
261 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12759 |
260 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
259 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9966 |
258 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
257 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
256 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
255 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
254 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
253 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
252 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
251 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10300 |
250 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |