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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70340
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96185
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1534
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1133
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1000
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선] [1] 2489
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1633
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1695
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 828
617 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1167
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 857
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 862
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1572
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2262
612 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 954
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2421
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 1706
609 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1335
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 390
607 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3485
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3418
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 1350
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