저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..
1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.
2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^
수고하싶시오.. ^^
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76815 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20242 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57186 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68737 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92572 |
15 | Silent Discharge | 64558 |
14 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
13 | 플라즈마 응용분야 | 17861 |
12 | Langmuir probe tip 재료 | 20411 |
11 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17811 |
10 | 탐침법 | 27851 |
9 | CCP/ICP , E/H mode | 23006 |
8 | 플라즈마의 발생과 ICP | 22143 |
7 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17849 |
6 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
» | QMA에 관하여 [1] | 19429 |
4 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20807 |
3 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21946 |
2 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 32011 |
1 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26172 |