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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68783
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92772
162 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 35
161 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 69
160 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 82
159 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
158 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 100
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124
156 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 127
155 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 161
154 ICP에서 전자의 가속 [1] 173
153 skin depth에 대한 이해 [1] 180
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 195
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 205
150 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 207
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 259
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 333
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 374
146 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 439
145 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 452
144 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 469
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