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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68783
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92772
69 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 26
68 플라즈마 식각 커스핑 식각량 37
67 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
66 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 212
65 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 255
64 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 265
63 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 288
62 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 304
61 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 329
60 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 366
59 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 373
58 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 405
57 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 420
56 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 496
55 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 558
54 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
53 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 627
52 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 639
51 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 677
50 Polymer Temp Etch [1] 680

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