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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68786
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18 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 290
17 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 276
16 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 230
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12 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
11 corona model에 대한 질문입니다. [1] 172
10 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 155
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6 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 125
5 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 95
4 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 91
3 Druyvesteyn Distribution 24
2 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 18
1 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 9

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