Ion/Electron Temperature remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical]

2011.12.28 18:13

홍명일 조회 수:22631

안녕하세요. 최근에 원자층식각(Atomic Layer Etching) 또는 ALD시 remote plasma란 용어가 자주 나오는데요, 일반적으로 이야기 하는 Plasma 와 어떤 차이가 있는 건가요? 생성방법? 이온 밀도? 등등 차이점에 대해 설명좀 부탁드립니다. 항상 감사드립니다.

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