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22 esc란? 28027
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20 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22919
19 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22205
18 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19816
17 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16873
16 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14579
15 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8462
14 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7555
13 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6433
12 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5397
11 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4260
10 ESC Cooling gas 관련 [1] 3477
9 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3267
8 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2767
7 Si Wafer Broken [2] 2429
6 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1864
5 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1849
4 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1553
3 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1346

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