Deposition 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호]

2018.05.08 14:21

우인범 조회 수:4513

안녕하세요, 반도체분야로 취업하려는 취업준비생입니다.

 

얼마전에 공정실습을 다녀왔었는데요. SiO2 를 PECVD로 증착하는 과정에서 플라즈마 관찰을 했었습니다. process gas로 N2O를 SiH4보다 많이 투입했음에도 불구하고 SiH4의 플라즈마 색이 관찰된 것에 대해서 이유를 분석해보라는 문제를 주셨습니다. 

 

당시에는 두 가스의 플라즈마 색이 갖는 파장이 합성됐을 때 푸리에와 관련해서 나온 현상이라고 이해했었는데, 다시생각해보니 정확한 정리가 잘 되지 않았습니다.

 

이 현상에 대해서 피드백을 받을 수 있을까요??

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