번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91227
731 sheath와 debye shielding에 관하여 27658
730 DBD란 27652
729 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27544
728 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27192
727 이온과 라디칼의 농도 file 26891
726 self bias (rf 전압 강하) 26617
725 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26433
724 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26063
723 충돌단면적에 관하여 [2] 26050
722 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 25823
721 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25566
720 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24957
719 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24816
718 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24788
717 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24751
716 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24712
715 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24609
714 플라즈마가 불안정한대요.. 24491
713 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24488
712 plasma와 arc의 차이는? 24450

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