번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [252] 76384
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91227
711 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24261
710 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24127
709 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24116
708 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24109
707 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23935
706 self Bias voltage 23935
705 플라즈마 쉬스 23892
704 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23680
703 Arcing 23679
702 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23402
701 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23335
700 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23304
699 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23232
698 DC glow discharge 23188
697 고온플라즈마와 저온플라즈마 23078
696 No. of antenna coil turns for ICP 23049
695 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23003
694 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22919
693 CCP/ICP , E/H mode 22842
692 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22825

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